Диффузионная печь

Диффузная печь является специализированным оборудованием.

Она применяется при изготовлении полупроводников, а также выполнении других процессов в условиях высоких температур. Печь создает устойчивые температурные показатели и умеренный вакуум. Благодаря данной особенности она обеспечивает термический рост оксидов, легирование и термическую диффузию допанта. Диффузные печи отличаются значительными размерами. Они вмещают в себя большое число подложек. Таким образом, обеспечивается равномерная обработка деталей.

Конструктивные особенности

Печь состоит из следующих компонентов: элементов нагрева, контролирующей и вакуумной системы. Благодаря совместной работе каждого узла поддерживаются идеальные условия для диффузии. Рассмотрим основные элементы конструкции:

система нагрева. Благодаря ей создаются высокие температуры, без которых невозможны диффузионные процессы. Для изготовления нагревательных элементов используются материалы, которые могут выдержать сильный нагрев;
система, позволяющая контролировать температуру. Благодаря ей осуществляется контроль и регулирование параметров печи;
благодаря вакуумной системе поддерживается умеренный вакуум в печи, который необходим для диффузии элементов;
камера, в которой располагают подложки.

Область применения

Диффузионные печи незаменимы при производстве качественного полупроводникового оборудования. В печи осуществляется последовательная и контролируемая диффузия элементов.

Представленное оборудование обеспечивает термический рост оксидов, легирование и диффузию. Для представленных процессов важны стабильные показатели температуры и умеренный вакуум. Таким образом, обеспечивается точность и равномерность обработки подложек.

Таким образом, диффузионная печь - это сложное и критически важное оборудование, без которого невозможно себе представить изготовление полупроводников. Благодаря большим размерам, в печи можно обрабатывать целые партии продукции. Это позволяет использовать оборудование для нужд промышленности.

23.01.2025 10:57:56

Другие материалы по теме: